第1231章 把握光刻机路线节点，做牛气甲方(第2/2 页)
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入一九八零年代后，光刻机的光源改用高压汞灯产生的紫外线，其中能量最强的两个谱线，是四百三十六纳米的G线和三百六十五纳米的I线。
由
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